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                新材料應用技術 現在位置:首頁 > 新材料應用技術
                硅材料應用
                信息來源:不詳 發布時間:2014-7-31  分享到:

                上圖為利用DRIE工藝研制的硅擒縱輪


                上圖為利用DRIE工藝研制的硅游絲


                上圖為利用DRIE工藝研制的硅擒縱叉

                    單晶硅的密度大約為鋼的1/3 ,線脹系數是鋼的1/5,彈性模量與鋼相當,具有較高的硬度,具有美麗的色澤和良好的抗腐蝕性,硬脆,易沿某個晶面開裂。除上述性能外,硅材料具有較低摩擦系數、無磁性、低的內耗。除此之外實驗表明,利用MEMS技術加工的單晶硅擒縱調速零件,解決了擒縱輪齒形分布不均勻,游絲動態過程中,中心的偏移產生的干擾力矩等因素對等時性的影響,有效提高了走時精度。





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